Производитель MEMS-гироскопов

Основные положенияПродукт: Инерциальная навигационная система (ИНС) на основе инерциального измерительного блока (ИМББ).Основные характеристики:Компоненты: Использует MEMS-акселерометры и гироскопы для измерения ускорения и угловой скорости в реальном времени.Функция: Интегрирует исходные данные о положении и ориентации с измерениями инерциального измерительного блока (IMU) для расчета положения и ориентации в реальном времени.Области применения: Идеально подходит для навигации внутри помещений, аэрокосмической отрасли, автономных систем и робототехники.Задачи: Устранение ошибок датчиков, кумулятивного дрейфа и влияния динамической среды с помощью методов калибровки и фильтрации.Вывод: Обеспечивает точное позиционирование в сложных условиях, демонстрируя высокую эффективность при использовании в сочетании со вспомогательными системами позиционирования, такими как GPS. Закон дрейфа инструментальной константы гиротеодолита в зависимости от температуры представляет собой сложное явление, включающее взаимодействие множества компонентов и систем внутри прибора. Инструментальная константа относится к эталонному значению измерения гиротеодолита в конкретных условиях. Крайне важно обеспечить точность и стабильность измерений.Изменения температуры вызывают дрейф постоянных прибора, главным образом потому, что различия в коэффициентах теплового расширения материалов приводят к изменениям в структуре прибора, а характеристики электронных компонентов изменяются с изменением температуры. Этот дрейф часто носит нелинейный характер, поскольку разные материалы и компоненты по-разному реагируют на температуру.Для изучения дрейфа инструментальных констант гиротеодолита в зависимости от температуры обычно требуется серия экспериментов и анализ данных. Это включает калибровку и измерение прибора при различных температурах, регистрацию изменений инструментальных констант и анализ зависимости между температурой и инструментальными константами.Анализ экспериментальных данных позволяет выявить тенденцию изменения инструментальных констант в зависимости от температуры и попытаться построить математическую модель для описания этой зависимости. Такие модели могут быть основаны на линейной регрессии, полиномиальной аппроксимации или других статистических методах и используются для прогнозирования и компенсации дрейфа инструментальных констант при различных температурах.Понимание дрейфа параметров прибора гиротеодолита в зависимости от температуры имеет важное значение для повышения точности и стабильности измерений. Принятие соответствующих компенсационных мер, таких как контроль температуры, калибровка и обработка данных, позволяет уменьшить влияние температуры на параметры прибора, тем самым улучшая измерительные характеристики гиротеодолита.Следует отметить, что конкретные правила дрейфа и методы компенсации могут различаться в зависимости от различных моделей гиротеодолитов и сценариев применения. Поэтому в практических приложениях необходимо изучать и внедрять соответствующие меры в зависимости от конкретной ситуации.Изучение характера дрейфа инструментальных констант гиротеодолита в зависимости от температуры обычно включает мониторинг и анализ работы прибора в различных температурных условиях.Цель таких исследований — понять, как изменения температуры влияют на параметры гиротеодолита, и, возможно, найти способ компенсировать или скорректировать это температурное воздействие.Инструментальные константы, как правило, относятся к присущим прибору свойствам в определенных условиях, таких как стандартная температура. Для гиротеодолита инструментальные константы могут быть связаны с точностью измерений, стабильностью и т. д.При изменении температуры окружающей среды свойства материалов, механическая структура и т.д. внутри прибора могут изменяться, что, в свою очередь, влияет на постоянные прибора.Для изучения этой закономерности дрейфа обычно требуются следующие шаги:Выберите диапазон различных температурных значений, чтобы охватить все условия эксплуатации, с которыми может столкнуться гироскопический теодолит.Для получения достаточного количества данных необходимо провести многонаправленные измерения в каждой температурной точке.Проанализируйте данные и проследите за динамикой инструментальных констант в зависимости от температуры.Попробуйте построить математическую модель для описания этой зависимости, например, с помощью линейной регрессии, полиномиальной аппроксимации и т. д.Используйте эту модель для прогнозирования инструментальных констант при различных температурах и, возможно, для разработки методов компенсации температурных эффектов.Математическая модель может выглядеть следующим образом:K(T) = a + b × T + c × T² + …Среди них K(T) — инструментальная постоянная при температуре T, а a, b, c и т. д. — коэффициенты, которые необходимо подобрать.Подобные исследования имеют большое значение для повышения эффективности гиротеодолита в различных условиях окружающей среды.Следует отметить, что конкретные методы исследования и математические модели могут различаться в зависимости от конкретных моделей приборов и сценариев применения.Подведите итогиЗакон дрейфа инструментальной константы гиротеодолита в зависимости от температуры представляет собой сложное явление, включающее взаимодействие множества компонентов и систем внутри прибора. Инструментальная константа относится к эталонному значению измерения гиротеодолита в конкретных условиях. Крайне важно обеспечить точность и стабильность измерений.Изменения температуры вызывают дрейф постоянных прибора, главным образом потому, что различия в коэффициентах теплового расширения материалов приводят к изменениям в структуре прибора, а характеристики электронных компонентов изменяются с изменением температуры. Этот дрейф часто носит нелинейный характер, поскольку разные материалы и компоненты по-разному реагируют на температуру.Для изучения дрейфа инструментальных констант гиротеодолита в зависимости от температуры обычно требуется серия экспериментов и анализ данных. Это включает калибровку и измерение прибора при различных температурах, регистрацию изменений инструментальных констант и анализ зависимости между температурой и инструментальными константами.Анализ экспериментальных данных позволяет выявить тенденцию изменения инструментальных констант в зависимости от температуры и попытаться построить математическую модель для описания этой зависимости. Такие модели могут быть основаны на линейной регрессии, полиномиальной аппроксимации или других статистических методах и используются для прогнозирования и компенсации дрейфа инструментальных констант при различных температурах.Понимание дрейфа параметров прибора гиротеодолита в зависимости от температуры имеет важное значение для повышения точности и стабильности измерений. Принятие соответствующих компенсационных мер, таких как контроль температуры, калибровка и обработка данных, позволяет уменьшить влияние температуры на параметры прибора, тем самым улучшая измерительные характеристики гиротеодолита.Следует отметить, что конкретные правила дрейфа и методы компенсации могут различаться в зависимости от различных моделей гиротеодолитов и сценариев применения. Поэтому в практических приложениях необходимо изучать и внедрять соответствующие меры в зависимости от конкретной ситуации.Изучение характера дрейфа инструментальных констант гиротеодолита в зависимости от температуры обычно включает мониторинг и анализ работы прибора в различных температурных условиях.Цель таких исследований — понять, как изменения температуры влияют на параметры гиротеодолита, и, возможно, найти способ компенсировать или скорректировать это температурное воздействие.Инструментальные константы, как правило, относятся к присущим прибору свойствам в определенных условиях, таких как стандартная температура. Для гиротеодолита инструментальные константы могут быть связаны с точностью измерений, стабильностью и т. д.При изменении температуры окружающей среды свойства материалов, механическая структура и т.д. внутри прибора могут изменяться, что, в свою очередь, влияет на постоянные прибора.Для изучения этой закономерности дрейфа обычно требуются следующие шаги:Выберите диапазон различных температурных значений, чтобы охватить все условия эксплуатации, с которыми может столкнуться гироскопический теодолит.Для получения достаточного количества данных необходимо провести многонаправленные измерения в каждой температурной точке.Проанализируйте данные и проследите за динамикой инструментальных констант в зависимости от температуры.Попробуйте построить математическую модель для описания этой зависимости, например, с помощью линейной регрессии, полиномиальной аппроксимации и т. д.Используйте эту модель для прогнозирования инструментальных констант при различных температурах и, возможно, для разработки методов компенсации температурных эффектов.Математическая модель может выглядеть следующим образом:K(T) = a + b × T + c × T² + …Среди них K(T) — инструментальная постоянная при температуре T, а a, b, c и т. д. — коэффициенты, которые необходимо подобрать.Подобные исследования имеют большое значение для повышения эффективности гиротеодолита в различных условиях окружающей среды.Следует отметить, что конкретные методы исследования и математические модели могут различаться в зависимости от конкретных моделей приборов и сценариев применения. MG502MEMS-гироскоп MG502  

Основные положенияИзделие: MEMS-гироскопическая система определения направления на север в скважинеОсновные характеристики:Компоненты: Для определения направления на север используются MEMS-гироскопы, отличающиеся компактными размерами, низкой стоимостью и высокой ударопрочностью.Функция: Использует усовершенствованный двухпозиционный метод (90° и 270°) и коррекцию ориентации в реальном времени для точного определения направления на север.Области применения: Оптимизировано для буровых систем в сложных подземных условиях.Объединение данных: сочетает данные гироскопа с поправками на локальное магнитное склонение для расчета истинного севера, обеспечивая точную навигацию во время бурения.Заключение: Обеспечивает точное, надежное и независимое определение направления на север, идеально подходящее для бурения скважин и аналогичных задач.Новый MEMS-гироскоп представляет собой инерциальный гироскоп простой конструкции, обладающий преимуществами низкой стоимости, малых размеров и устойчивости к сильным ударным вибрациям. Инерциальный гироскоп для определения направления на север может осуществлять независимое определение направления на север в любых погодных условиях без внешних ограничений, обеспечивая быструю, высокоэффективную, высокоточную и непрерывную работу. Благодаря преимуществам MEMS-гироскопа, он идеально подходит для систем определения направления на север в скважине. В данной статье описывается исследование сегментированного слияния данных в системе определения направления на север в скважине с использованием MEMS-гироскопа. Далее будет представлен улучшенный двухпозиционный метод определения направления на север, схема слияния данных о направлении на север в скважине с использованием MEMS-гироскопа и определение значения направления на север.Улучшенное определение местоположения по двум позициям на север.В статической двухпозиционной схеме поиска севера обычно выбираются начальное и конечное положения 0° и 180°. После многократных экспериментов регистрируется угловая скорость вращения гироскопа, а окончательный угол поиска севера определяется путем объединения данных с местной широтой. В эксперименте использовался двухпозиционный метод с шагом 10°, регистрировались данные с поворотного стола на 360°, всего было собрано 36 наборов данных. После усреднения каждого набора данных измеренные значения показаны на рисунке 1 ниже.Рисунок 1. Аппроксимирующая кривая выходного сигнала гироскопа в диапазоне от 0 до 360°.Как видно из рисунка 1, полученная кривая представляет собой косинусоидальную кривую, однако экспериментальные данные и углы все еще малы, а экспериментальные результаты недостаточно точны. Были проведены повторные эксперименты, угол съемки был расширен до 0–660°, а двухпозиционный метод применялся с шагом 10° от 0°, результаты показаны на рисунке 2. Тенденция изображения соответствует косинусоидальной кривой, и наблюдаются явные различия в распределении данных. На вершинах и впадинах косинусоидальной кривой распределение точек данных разбросано, и степень соответствия кривой низкая, в то время как в местах с наибольшим наклоном кривой соответствие точек данных кривой более очевидно.Рисунок 2. Аппроксимирующая кривая выходного сигнала гироскопа в двух положениях 0–660°.В сочетании с соотношением азимута и амплитуды выходного сигнала гирофотометра, представленным на рисунке 3, можно заключить, что соответствие данных лучше при использовании двухпозиционного определения направления на север под углами 90° и 270°, что указывает на более простое и точное определение угла севера в восточно-западном направлении. Поэтому в данной работе в качестве двухпозиционных точек определения направления на север для гирофотометра используются 90° и 270° вместо 0° и 180°.Рисунок 3. Зависимость амплитуды выходного сигнала гиромотора от азимута.MEMS-гироскоп, скважинное термоядерное синтезирование, определение севераПри использовании MEMS-гироскопа в системе определения направления севера в скважине возникают сложные условия, а также переменные углы ориентации в зависимости от бурового долота, что значительно усложняет определение угла направления севера. В этом разделе, основываясь на усовершенствовании двухпозиционной схемы определения направления севера, описанной в предыдущем разделе, предлагается метод получения угла ориентации путем управления вращением в соответствии с выходными данными, а также определения угла между горизонтом и горизонтом. Подробная блок-схема представлена ​​на рисунке 4.Данные с MEMS-гироскопа передаются на верхний компьютер через интерфейс RS232. Как показано на рисунке 4, после определения начального угла направления на север путем поиска севера в двух точках, выполняется следующий этап бурения. После получения команды поиска севера бурение останавливается. Выходной сигнал угла ориентации, полученный от MEMS-гироскопа, собирается и передается на верхний компьютер. Вращение системы поиска севера в скважине контролируется информацией об угле ориентации, а углы крена и тангажа устанавливаются на 0. Угол курса в этот момент — это угол между чувствительной осью и направлением магнитного севера.В данной схеме угол между MEMS-гироскопом и истинным направлением на север может быть получен в реальном времени путем сбора информации об угле ориентации.Рисунок 4. Блок-схема процесса поиска Fusion North.Север, стремящийся к получению ценности, определяетсяВ схеме определения севера с использованием метода слияния данных улучшенное двухпозиционное определение севера выполнялось с помощью MEMS-гироскопа. После завершения определения севера определялось начальное положение по оси севера, регистрировался угол курса θ, а начальное состояние ориентации составляло (0,0,θ), как показано на рисунке 5(а). Во время бурения угол ориентации гироскопа изменяется, а угол крена и угол тангажа регулируются поворотным столом, как показано на рисунке 5(б).Как показано на рисунке 5(b), при бурении долота система получает информацию об угле ориентации от прибора определения ориентации и должна определить значения угла крена γ и угла тангажа β, а затем повернуть их с помощью системы управления вращением до нуля. В это время выходные данные об угле курса представляют собой угол между чувствительной осью и направлением магнитного севера. Угол между чувствительной осью и истинным севером должен быть получен в соответствии с соотношением между магнитным севером и истинным севером, а угол истинного севера должен быть получен путем объединения с углом локального магнитного склонения. Решение выглядит следующим образом:θ'=Φ-∆φВ приведенной выше формуле θ — угол направления бурового долота и истинного севера, ∆φ — угол местного магнитного склонения, Φ — угол направления бурового долота и магнитного севера.Рисунок 5. Изменение начального и бурового угла.Север, стремящийся к получению ценности, определяетсяВ этой главе рассматривается схема определения севера с помощью подземной системы определения севера на основе MEMS-гироскопа. На основе двухпозиционной схемы определения севера предлагается улучшенная двухпозиционная схема с начальными положениями 90° и 270°. Благодаря непрерывному совершенствованию MEMS-гироскопа, он может обеспечивать независимое определение севера, например, MG2-101, его динамический диапазон измерений составляет 100°/с, он может работать в диапазоне температур от -40°C до +85°C, его нестабильность смещения составляет 0,1°/ч, а случайное блуждание угловой скорости составляет 0,005°/√ч.Надеюсь, эта статья поможет вам понять схему определения направления на север в MEMS-гироскопе, и я с нетерпением жду возможности обсудить с вами профессиональные вопросы. MG502MEMS-гироскоп MG502  

Основные положенияИзделие: MEMS-гироскоп навигационного классаОсновные характеристики:Компоненты: MEMS-гироскоп для точного измерения угловой скорости.Функция: Обеспечивает высокоточные навигационные данные с низким дрейфом, подходящие для длительной и стабильной навигации.Области применения: Идеально подходит для аэрокосмической отрасли, систем наведения тактических ракет, морской навигации и промышленной робототехники.Характеристики: Отличается низкой нестабильностью смещения и случайным дрейфом, обеспечивая надежную работу в течение длительного времени.Сравнение: Различные модели (MG-101, MG-401, MG-501) удовлетворяют различным требованиям к точности, при этом модель MG-101 обеспечивает наивысшую точность.MEMS-гироскоп — это инерциальный датчик для измерения угловой скорости или углового смещения. Он имеет широкие перспективы применения в нефтедобыче, системах наведения оружия, аэрокосмической отрасли, горнодобывающей промышленности, геодезии и картографии, промышленной робототехнике и бытовой электронике. В связи с различными требованиями к точности в разных областях, MEMS-гироскопы на рынке делятся на три уровня: навигационный, тактический и потребительский.В данной статье подробно рассматриваются навигационные MEMS-гироскопы и проводится сравнение их параметров. Далее будут рассмотрены технические показатели MEMS-гироскопов, проведен анализ дрейфа гироскопов и проведено сравнение трех навигационных MEMS-гироскопов.Технические характеристики MEMS-гироскопаИдеальный MEMS-гироскоп должен обладать таким свойством, чтобы выходной сигнал его чувствительной оси был пропорционален входным угловым параметрам (углу, угловой скорости) соответствующей оси несущей при любых условиях и не был чувствителен к угловым параметрам своей поперечной оси, а также к любым неугловым параметрам оси (таким как вибрационное ускорение и линейное ускорение). Основные технические характеристики MEMS-гироскопа приведены в таблице 1.Технический индикаторЕдиницаЗначениеДиапазон измерений(°)/сЭффективно чувствителен к диапазону входной угловой скорости.Нулевое смещение(°)/чВыходной сигнал гироскопа при нулевом входном сигнале. Поскольку выходные сигналы различаются, для представления одного и того же типа продукции обычно используется эквивалентный входной сигнал, и чем меньше нулевое смещение, тем лучше; для разных моделей продукции меньшее нулевое смещение не гарантирует лучшего результата.Повторяемость смещения(°)/h(1σ)При одинаковых условиях и с заданными интервалами (последовательно, ежедневно, через день…) степень согласования между частичными значениями повторных измерений. Выражается в виде стандартного отклонения каждого измеренного смещения. Чем меньше значение, тем лучше для всех гироскопов (оценивает, насколько легко компенсировать нулевое значение).Нулевой дрейф(°)/сСкорость изменения во времени отклонения выходного сигнала гироскопа от идеального выходного сигнала. Она содержит как стохастические, так и систематические составляющие и выражается через соответствующее угловое смещение входного сигнала относительно инерциального пространства в единицу времени.Масштабный коэффициентВ/(°)/с、мА/(°)/сОтношение изменения выходного сигнала к изменению входного сигнала, подлежащего измерению.Пропускная способностьHzПри проверке частотных характеристик гироскопа установлено, что диапазон частот, соответствующий амплитуде измеряемой величины, уменьшается на 3 дБ, а точность гироскопа может быть повышена за счет уменьшения полосы пропускания.Таблица 1. Основные технические показатели MEMS-гироскопа.Дрейфовый анализ гироскопаЕсли в гироскопе присутствует интерференционный момент, вал ротора отклонится от исходного стабильного опорного азимута и возникнет ошибка. Угол отклонения оси ротора относительно азимута инерциального пространства (или опорного азимута) за единицу времени называется скоростью дрейфа гироскопа. Основной показатель точности гироскопа — скорость дрейфа.Дрейф гироскопа делится на две категории: систематический, закон которого известен, он вызывает регулярный дрейф, поэтому его можно компенсировать с помощью компьютера; другой тип дрейфа обусловлен случайными факторами и вызывает случайный дрейф. Скорость систематического дрейфа выражается угловым смещением в единицу времени, а скорость случайного дрейфа — среднеквадратичным значением углового смещения в единицу времени или стандартным отклонением. Приблизительный диапазон скоростей случайного дрейфа для различных типов гироскопов, достижимый в настоящее время, показан в таблице 2.Тип гироскопаСкорость случайного дрейфа/(°)·ч-1Шарикоподшипниковый гироскоп10-1Гироскоп с вращающимся подшипником1-0.1Жидкостный поплавковый гироскоп0,01-0,001Гироскоп с воздушным поплавком0,01-0,001Динамически настроенный гироскоп0,01-0,001Электростатический гироскоп0,01-0,0001Полусферический резонансный гироскоп0,1-0,01Кольцевой лазерный гироскоп0,01-0,001Волоконно-оптический гироскоп1-0.1Таблица 2. Скорость случайного дрейфа различных типов гироскопов. Приблизительный диапазон требуемой скорости случайного дрейфа гироскопа для различных применений показан в таблице 3. Типичный показатель точности позиционирования инерциальной навигационной системы составляет 1n миль/ч (1n миль = 1852 м), что требует, чтобы скорость случайного дрейфа гироскопа достигала 0,01°/ч, поэтому гироскоп со скоростью случайного дрейфа 0,01°/ч обычно называют инерциальным навигационным гироскопом.ПриложениеТребования к скорости случайного дрейфа гиро/(°)·ч-1Гироскоп скорости в системе управления полетом150-10Вертикальный гироскоп в системе управления полетом30-10Направленный гироскоп в системе управления полетом10-1Тактическая инерциальная система наведения ракеты1-0.1Морской гирокомпас, система определения курса, система бокового позиционирования артиллерии, инерциальная навигационная система для наземных транспортных средств.0,1-0,01Инерциальные навигационные системы для самолетов и судов0,01-0,001Стратегическая ракета, крылатая ракета, инерциальная система наведения0,01-0,0005Таблица 3. Требования к скорости случайного дрейфа гироскопа в различных областях применения. Сравнение трех навигационных MEMS-гироскоповСерия MG от Micro-Magic Inc. — это высокоточные MEMS-гироскопы навигационного класса, отвечающие потребностям различных областей. В следующей таблице сравниваются дальность действия, нестабильность смещения, угловое случайное блуждание, стабильность смещения, масштабный коэффициент, полоса пропускания и шум.　МГ-101МГ-401МГ-501Динамический диапазон (град/с)±100±400±500Нестабильность смещения (град/час)0.10,52Угловое случайное блуждание (°/√h)0,0050,025~0,050.125-0.1Стабильность смещения (1σ 10 с) (град/час)0.10,52~5Таблица 4. Таблица сравнения параметров трех навигационных MEMS-гироскопов.Надеюсь, эта статья поможет вам понять технические характеристики навигационных MEMS-гироскопов и сравнительную взаимосвязь между ними. Если вас интересует более подробная информация о MEMS-гироскопах, пожалуйста, свяжитесь с нами. MG502MEMS-гироскоп MG502  

Основные положенияПродукт: Инерциальная навигационная система (ИНС) на основе инерциального измерительного блока (ИМББ).Основные характеристики:Компоненты: Использует MEMS-акселерометры и гироскопы для измерения ускорения и угловой скорости в реальном времени.Функция: Интегрирует исходные данные о положении и ориентации с измерениями инерциального измерительного блока (IMU) для расчета положения и ориентации в реальном времени.Области применения: Идеально подходит для навигации внутри помещений, аэрокосмической отрасли, автономных систем и робототехники.Задачи: Устранение ошибок датчиков, кумулятивного дрейфа и влияния динамической среды с помощью методов калибровки и фильтрации.Вывод: Обеспечивает точное позиционирование в сложных условиях, демонстрируя высокую эффективность при использовании в сочетании со вспомогательными системами позиционирования, такими как GPS. MEMS-гироскоп работает на основе угловой скорости, чувствительной к силе Кориолиса, и его система управления делится на контур управления режимом привода и контур управления режимом обнаружения. Только обеспечивая отслеживание амплитуды колебаний в режиме привода и резонансной частоты в реальном времени, демодуляция канала обнаружения позволяет получить точную информацию об угловой скорости на входе. В данной статье будет проведен анализ контура управления режимом привода MEMS-гироскопа с разных сторон.Модель контура управления режимами приводаВибрационное смещение в режиме работы MEMS-гироскопа преобразуется в изменение емкости с помощью структуры обнаружения с гребенчатым конденсатором, а затем емкость преобразуется в сигнал напряжения, характеризующий смещение гироскопа, через кольцевую диодную схему. После этого сигнал поступает в две ветви: одна проходит через модуль автоматической регулировки усиления (АРУ) для управления амплитудой, а другая — через модуль фазовой автоподстройки частоты (ФАПЧ) для управления фазой. В модуле АРУ амплитуда сигнала смещения сначала демодулируется путем умножения и низкочастотного фильтра, а затем амплитуда регулируется до заданного опорного значения через ПИ-канал, и на выходе получается управляющий сигнал амплитуды. Опорный сигнал, используемый для умножения и демодуляции в модуле ФАПЧ, ортогонален опорному сигналу демодуляции, используемому в модуле АРУ. После прохождения сигнала через модуль ФАПЧ можно отслеживать резонансную частоту гироскопа. Выход модуля представляет собой управляющий сигнал фазы управления. Два управляющих сигнала умножаются для генерации напряжения управления гироскопом, которое подается на управляющий гребенчатый генератор и преобразуется в электростатическую движущую силу для управления режимом работы гироскопа, образуя таким образом замкнутый контур управления режимом работы гироскопа. На рисунке 1 показан контур управления режимом работы MEMS-гироскопа.Рисунок 1. Блок-схема структуры управления режимом работы MEMS-гироскопа.Функция передачи режима приводаСогласно динамическому уравнению режима работы вибрирующего МЭМС-гироскопа, непрерывную передаточную функцию можно получить с помощью преобразования Лапласа:Где mx — эквивалентная масса режима работы гироскопа, ωx = √kx/mx — резонансная частота режима работы, а Qx = mxωx/cx — добротность режима работы.Преобразовательная связь перемещения-емкостиСогласно анализу емкости детектирования зубцов гребенки, при игнорировании краевого эффекта связь преобразования смещения в емкость является линейной, а коэффициент усиления дифференциальной емкости, изменяющийся со смещением, может быть выражен следующим образом:Где nx — количество активных гребенчатых частот, управляемых гироскопическим режимом, ε0 — диэлектрическая постоянная вакуума, hx — толщина управляющих детектирующих гребенок, lx — длина перекрытия управляющей детектирующей активной и неподвижной гребенчатых частот в состоянии покоя, и dx — расстояние между зубцами.Преобразователь емкости в напряжениеВ данной работе используется схема преобразования напряжения в конденсатор, представляющая собой кольцевую диодную схему, принципиальная схема которой показана на рисунке 2.Рисунок 2. Схема кольцевой диодной цепи.На рисунке C1 и C2 — дифференциальные конденсаторы гироскопа, C3 и C4 — демодуляционные конденсаторы, а Vca — амплитуда прямоугольного импульса. Принцип работы: когда прямоугольный импульс находится в положительной полупериоде, диоды D2 и D4 включаются, затем конденсатор C1 заряжает C4, а C2 — C3; когда прямоугольный импульс находится в положительной полупериоде, диоды D1 и D3 включаются, затем конденсатор C1 разряжается на C3, а C2 — на C4. Таким образом, после нескольких циклов прямоугольного импульса напряжение на демодулированных конденсаторах C3 и C4 стабилизируется. Выражение для этого напряжения:В рассматриваемом в данной работе кремниевом микромеханическом гироскопе статическая емкость составляет несколько пикофарад, а изменение емкости менее 0,5 пФ, в то время как емкость демодуляции, используемая в схеме, составляет порядка 100 пФ, поэтому имеются CC0》∆C и C2》∆C2, а коэффициент преобразования напряжения конденсатора определяется по упрощенной формуле:Где Kpa — коэффициент усиления дифференциального усилителя, C0 — демодуляционная емкость, C — статическая емкость детектирующей емкости, Vca — амплитуда несущей, а VD — падение напряжения на диоде в открытом состоянии.Преобразователь емкости в напряжениеФазовое управление является важной частью управления приводом MEMS-гироскопа. Технология фазовой автоподстройки частоты позволяет отслеживать изменение частоты входного сигнала в захваченном частотном диапазоне и фиксировать фазовый сдвиг. Поэтому в данной работе для фазового управления гироскопом используется технология фазовой автоподстройки частоты, а её базовая блок-схема показана на рисунке 3.Рисунок 3. Блок-схема базовой структуры ФАПЧ.ФАПЧ (PLL) — это система автоматического регулирования фазы с отрицательной обратной связью. Принцип её работы можно кратко описать следующим образом: внешний входной сигнал ui(t) и сигнал обратной связи uo(t) на выходе генератора управляемого напряжением (VCO) одновременно подаются на фазовый дискриминатор для сравнения фаз двух сигналов, а на выходе фазового дискриминатора выдаётся сигнал ошибки напряжения ud(t), отражающий разность фаз θe(t) двух сигналов; сигнал проходит через фильтр контура, отфильтровывая высокочастотные компоненты и шум, получая управляющий напряжением генератор uc(t). Управляющий напряжением генератор регулирует частоту выходного сигнала в соответствии с этим управляющим напряжением, постепенно приближая её к частоте входного сигнала, и в итоге получается выходной сигнал uo(t). Когда частота ui(t) становится равной uo(t) или достигает стабильного значения, контур переходит в заблокированное состояние.Автоматическая регулировка усиленияАвтоматическая регулировка усиления (АРУ) — это замкнутая система отрицательной обратной связи с регулировкой амплитуды, которая в сочетании с фазовой автоподстройкой частоты обеспечивает амплитудно-фазовую стабильность колебаний в режиме управления гироскопом. Ее структурная схема показана на рисунке 4.Рисунок 4. Блок-схема структуры автоматической регулировки усиления.Принцип работы автоматической регулировки усиления можно кратко описать следующим образом: сигнал ui(t), содержащий информацию о перемещении гироскопа, поступает на линию обнаружения амплитуды, сигнал амплитуды перемещения извлекается путем умножения и демодуляции, а затем высокочастотная составляющая и шум фильтруются с помощью фильтра нижних частот; в результате получается относительно чистый сигнал постоянного напряжения, характеризующий перемещение, который затем управляется сигналом до заданного опорного значения через ПИ-регулятор и выдается электрический сигнал ua(t), управляющий амплитудой перемещения, что завершает регулировку амплитуды.ЗаключениеВ данной статье представлен контур управления режимом работы MEMS-гироскопа, включая модель, преобразование емкости в режим блокировки, преобразование емкости в напряжение, фазовую автоподстройку частоты и автоматическую регулировку усиления. Компания Micro-Magic Inc., производитель MEMS-гироскопических датчиков, провела подробные исследования MEMS-гироскопов и часто популяризировала и распространяла соответствующие знания о них. Для более глубокого понимания MEMS-гироскопов можно обратиться к параметрам MG-501 и MG1001.Если вас интересует более подробная информация и продукция в области MEMS, пожалуйста, свяжитесь с нами. MG502MEMS-гироскоп MG502