Технология акселерометра в микроэлектромеханических системах

Акселерометр серии AC-SMA-XXD представляет собой одноосевой емкостной датчик. MEMS-акселерометрAC-SMA-XXD состоит из полностью кремниевой MEMS-структуры датчика и маломощной ASIC-системы обработки сигналов. Питание AC-SMA-XXD осуществляется от одного источника питания (5 В), и устройство отличается низким типичным энергопотреблением (11 мА). На выходе устройства выдается либо цифровой сигнал по протоколу SPI, либо полностью дифференциальный аналоговый сигнал (синфазное напряжение 2,5 В), при этом диапазон аналогового выходного напряжения составляет от 0,5 В до 4,5 В.

ACM-100 трехосевой акселерометр широко используется датчик ускорения Серия продуктов, выпускаемая высокотехнологичной компанией Micro-Magic Inc. с использованием швейцарской запатентованной технологии, может применяться в различных областях, таких как вибрационные и ударные испытания. Продукт использует цифровой интерфейс вывода, доступные протоколы RS232, RS485, TTL, Modbus и RS422. Можно установить различные коды адресов, а также последовательно соединить несколько датчиков для измерения на больших расстояниях и анализа данных в нескольких точках. ACM-100 — это емкостной датчик на основе монокристаллического кремния, состоящий из кремниевого чипа, прошедшего микромеханическую обработку, маломощной ASIC для регулировки сигнала, микропроцессора для хранения значений компенсации и датчика температуры.